美國TESCOM VN系列高壓控制閥采用無彈簧無螺紋的平衡閥芯結構，成為業(yè)內少數(shù)能滿足超高純系統(tǒng)要求的解決方案。其設計理念源于航空級精密控制標準，通過模塊化構造實現(xiàn)從真空至20000 psig的寬范圍壓力調節(jié)，CV值覆蓋0.02至20的流量需求。
美國TESCOM VN系列高壓控制閥三個典型的應用場景如下：
1. 半導體制造
在晶圓加工環(huán)節(jié)，VN系列用于：
刻蝕工藝中的特種氣體壓力控制（如CF4、SiH4）
化學氣相沉積（CVD）反應腔體的背壓調節(jié)
超純水系統(tǒng)的壓力穩(wěn)定
2. 石油化工
高壓加氫反應器的進料壓力控制
腐蝕性介質（如H2S、Cl2）的隔離調節(jié)
海上平臺高壓管線的安全泄放
3. 新能源領域
氫燃料電池堆的氫循環(huán)系統(tǒng)壓力管理
鋰電池電解液注入的精密計量
光伏行業(yè)多晶硅生產的氣體配比
美國TESCOM VN系列高壓控制閥規(guī)格
最大入口壓力10,000psig/689bar
閥體材質316 不銹鋼
閥座材質Vespel® SP1
O 型圈丁腈橡膠、乙烯丙烯橡膠或 Viton®
支撐環(huán)Teflon®
耐磨環(huán)聚醚醚酮 (PEEK)
Grayloc 端頭Nitronic 60
其他部件316 不銹鋼、17-4 不銹鋼
工作溫度-29°C 至 74°C/-20°F 至 165°F
端口尺寸和類型1-1/2 螺紋式 Grayloc 端頭
流通能力Cv = 20
重量35 lb/15.9kg
負載類型手動
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