美國MKS R系列真空閘閥針對半導體和一般真空應用中的粗抽泵和粗抽管線的隔離進行了優(yōu)化。R 系列閘閥提供多種選擇，包括氣動和手動執(zhí)行器、鎖定掛牌功能和位置指示器。R 系列閘閥采用彈性體軸封代替波紋管密封，可在具有成本效益的高價值封裝中實現(xiàn)高性能，適用于粗加工真空應用。

美國MKS R系列真空閘閥工作原理介紹如下：

閘閥的啟閉件是閘板，閘板的運動方向與流體方向相垂直，閘閥只能作全開和全關，不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流。閘板有兩個密封面，常用的模式閘板閥的兩個密封面形成楔形、楔形角隨閥門參數(shù)而異，通常為5°，介質(zhì)溫度不高時為2°52'。楔式閘閥的閘板可以做成一個整體，叫做剛性閘板；也可以做成能產(chǎn)生微量變形的閘板，以改善其工藝性，彌補密封面角度在加工過程中產(chǎn)生的偏差，這種閘板叫做彈性閘板。閘閥關閉時，密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封，即依靠介質(zhì)壓力將閘板的密封面壓向另一側(cè)的閥座來保證密封面的密封，這就是自密封。大部分閘閥是采用強制密封的，即閥門關閉時，要依靠外力強行將閘板壓向閥座，以保證密封面的密封性。閘閥的閘板隨閥桿一起作直線運動的，叫升降桿閘閥，亦叫明桿閘閥。通常在升降桿上有梯形螺紋，通過閥門頂端的螺母以及閥體上的導槽，將旋轉(zhuǎn)運動變?yōu)橹本€運動，也就是將操作轉(zhuǎn)矩變?yōu)椴僮魍屏?。開啟閥門時，當閘板提升高度等于閥門通徑的1：1倍時，流體的通道*暢通，但在運行時，此位置是無法監(jiān)視的。實際使用時，是以閥桿的頂點作為標志，即開不動的位置，作為它的全開位置。為考慮溫度變化出現(xiàn)鎖死現(xiàn)象，通常在開到頂點位置上，再倒回1/2－1圈，作為全開閥門的位置。因此，閥門的全開位置，按閘板的位置即行程來確定。有的閘閥，閥桿螺母設在閘板上，手輪轉(zhuǎn)動帶動閥桿轉(zhuǎn)動，而使閘板提升，這種閥門叫做旋轉(zhuǎn)桿閘閥，或叫暗桿閘閥。

美國MKS R系列真空閘閥具有DN80、DN100 和 DN160 尺寸
不銹鋼或鋁制版本
允許低真空泵在前級維護期間保持運行
高性能加熱器選項

美國MKS R系列真空閘閥規(guī)格：
類型R 系列閘閥
密封材料標準：Viton® (FKM)
可選：Chemraz®、Kalrez® 化合物
驅(qū)動雙作用氣動或手動
啟動時間< 2 秒
執(zhí)行器溫度10 至 80°C
限位開關磁簧開關：額定電流 < 80mA
壓力范圍1*10 -7至 1200 托（1.3* 10 -10 - 1.6 巴）
執(zhí)行器密封彈性軸封
電磁鐵溫度10 至 50°C
體溫Viton 密封件：10°C 至 105°C
可選密封件：10°C 至 150°C
氣壓5.4 ±1.3 大氣壓（80 ±20 psig）
側(cè)漏率1*10 -9 atm*cc/秒
外部泄漏率1*10 -9 atm*cc/秒
最大壓差 - 運行<22.5 Torr (30 mbar) 腔側(cè)高*
<22.5 Torr (30 mbar) 泵側(cè)高
*閥門可在高達 760 Torr (1 bar) 腔側(cè)高的情況下運行，但運行 >30 mbar 會縮短循環(huán)壽命。
最大壓差 - 關閉1.6 atm，任一方向
暴露材料不銹鋼：304L SS、316L SS、440C SS、Krytox LVP
鋁：6061 AL、304L SS、316L SS、440C SS、Krytox LVP
維護DN80：維護前 200,000 次循環(huán)
DN100：維護前 200,000 次循環(huán)
DN160：維護 100,000 次循環(huán)
MTTR：15 分鐘；無需從真空系統(tǒng)中拆卸即可進行維修

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